多層カーボンナノチューブをマスクとしたグラフェンナノリボンの作製
書誌事項
- タイトル別名
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- Fabrication of Graphene Nanoribbon by a Mask of Multi Walled Carbon Nanotube
説明
グラフェンナノリボンはバンドギャップと高い電子易動度を有するため、高速電界効果トランジスタのチャネル部材として期待されている。本研究では多層カーボンナノチューブをCVDグラフェン上に散布し、オゾンによる炭素エッチングのマスクとして利用した。その後、多層カーボンナノチューブを除去し、高さ1 nmのグラフェンナノリボンを作製した。
収録刊行物
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- 表面科学学術講演会要旨集
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表面科学学術講演会要旨集 36 (0), 177-, 2016
公益社団法人 日本表面真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680654823552
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- NII論文ID
- 130005175623
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可