熱陰極電離真空計の感度係数のガス種依存のシミュレーション
書誌事項
- タイトル別名
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- Simulation of relative sensitivity coefficient of Bayard-Alpert gauge
説明
B-A真空計管内の導入ガスの電離断面積から生成イオン分布を算出するシミュレーションにより、導入ガス種の違いが、感度係数に及ぼす影響について、実験データの文献値と計算結果を比較した。比感度係数のばらつきなど電離断面積を用いた計算でおえない部分についても原因の検討を行った。
収録刊行物
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- 表面科学学術講演会要旨集
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表面科学学術講演会要旨集 35 (0), 290-, 2015
公益社団法人 日本表面真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680655001344
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- NII論文ID
- 130005489361
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
