高面分解能TOF-SIMSを用いたミクロンからサブミクロンサイズの単一微粒子表面および内部の成分分布取得

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タイトル別名
  • Mass imaging analysis of surface and cross section of single particles from micron to submicron sizes by high lateral resolution TOF-SIMS

抄録

高面分解能TOF-SIMSを使って数μmからサブμmサイズの様々な微粒子の成分分布の取得を試みた。トナー微粒子の表面分析では粒径8μm程の微粒子に付着する数百nmの外添剤を質量分布として見ることができた。FIB加工を使って粒子内部を露出させることで、外添剤の厚みや内部の様子を観測することができた。大気微粒子においても表面と内部の成分分布取得が可能で、個々の微粒子の違いが組成分布として観測された。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680655247616
  • NII論文ID
    130005489410
  • DOI
    10.14886/sssj2008.35.0_353
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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