Strain of a b-FeSi2(100) nano-carpet on a Si(001) substrate studied with in-plane XRD measurements

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  • Si(001)基板上のβ-FeSi2(100)ナノカーペットの面内XRD測定による歪み評価

Abstract

我々はこれまでにβ-FeSi2が基板ステップを緩和する際に、格子不整合に起因する歪み二次元ナノカーペット構造を持つこと、LEED•in-plane XRD測定によってナノカーペットの逆格子に歪みに起因する特徴的な広がりがあることをほうこくしてきた。<br> 前回我々は、β041, 042, 082逆格子点が原点からの延長方向に伸びていること、それが歪みに起因することを報告した。今回は逆格子点と歪みモデルとのフィッティングによって、ナノカーペットの歪みを評価する。

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  • CRID
    1390282680655421696
  • NII Article ID
    130005974901
  • DOI
    10.14886/sssj2008.37.0_4
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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