Mesurements of Young's modulus in gold nano-contact by TEM_FM-AFM

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  • TEM―FM-AFM法による金ナノ接点のヤング率測定

Abstract

デバイスの微細化やナノマシンの開発で、材料寸法のスケールダウンに伴う物性変化が注目されている。数nmオーダーの材料の電気特性の評価が進む一方、力学特性の評価は遅れている。本研究では、透過型電子顕微鏡（TEM）と周波数変調原子間力顕微鏡（FM-AFM）を複合化し、金ナノ接点の原子配列の観察を行いながら、その部位のヤング率を測定した。ナノ接点のサイズ変化、原子配列の変化とヤング率の相関を議論する。

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  • CRID
    1390282680655481472
  • NII Article ID
    130005974751
  • DOI
    10.14886/sssj2008.37.0_278
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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