- 【Updated on May 12, 2025】 Integration of CiNii Dissertations and CiNii Books into CiNii Research
- Trial version of CiNii Research Knowledge Graph Search feature is available on CiNii Labs
- 【Updated on June 30, 2025】Suspension and deletion of data provided by Nikkei BP
- Regarding the recording of “Research Data” and “Evidence Data”
Pumpdown equation in low and medium vacuum regions.
-
- Yokogawa Keiichi
- Grad. School of Eng., Osaka City University
-
- Seto Kohei
- Grad. School of Eng., Osaka City University
-
- Fukuda Tsuneo
- Grad. School of Eng., Osaka City University
Bibliographic Information
- Other Title
-
- 低・中真空領域での排気方程式の検討
Description
通常、排気方程式は一定の実効排気速度を仮定して計算されるが、粘性流領域ではコンダクタンスが配管出入り口の平均圧力に比例するため、真空容器と真空ポンプとの間のコンダクタンスが小さい場合 、容器内の圧力は指数関数的には変化せず、ある圧力から時間の逆数で圧力が低下する領域がある。配管のコンダクタンスの圧力依存性を含んだ排気方程式の解析解と実験で得られた排気曲線を比較した結果、比較的良い一致を示した。
Journal
-
- Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan
-
Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan 37 (0), 266-, 2017
The Japan Society of Vacuum and Surface Science
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1390282680655526144
-
- NII Article ID
- 130005974781
-
- Text Lang
- ja
-
- Data Source
-
- JaLC
- CiNii Articles
-
- Abstract License Flag
- Disallowed