Arプラズマ中における金属の電気特性に関する研究_VI_
-
- 久保 隆
- 広国院大工
書誌事項
- タイトル別名
-
- Measurements of electrical characteristics of metals in Ar plasma
説明
これまでArプラズマ中に挿入した微小な金属片に流れる電流を測定し，Alに流れる電流が数十μs程度で減少してしまう現象について報告してきた．前回の報告ではイオンスパッタ処理後10μｓの範囲でならプラズマ空間電位における電流がWとAlで一致したことを報告した．ただし計測回路の周波数特性に起因する誤差が測定データに5%程度含まれていたため，この誤差を除去した測定結果について今回報告する．
収録刊行物
-
- 表面科学学術講演会要旨集
-
表面科学学術講演会要旨集 30 (0), 26-26, 2010
公益社団法人 日本表面真空学会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390282680656552448
-
- NII論文ID
- 130005038046
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- JaLC
- CiNii Articles
-
- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可