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Measurements of electrical characteristics of metals in Ar plasma
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- Kubo Takashi
- Hirosima Kokusai Gakuin Univ., Faculty of Engineering
Bibliographic Information
- Other Title
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- Arプラズマ中における金属の電気特性に関する研究_VI_
Description
これまでArプラズマ中に挿入した微小な金属片に流れる電流を測定し，Alに流れる電流が数十μs程度で減少してしまう現象について報告してきた．前回の報告ではイオンスパッタ処理後10μｓの範囲でならプラズマ空間電位における電流がWとAlで一致したことを報告した．ただし計測回路の周波数特性に起因する誤差が測定データに5%程度含まれていたため，この誤差を除去した測定結果について今回報告する．
Journal
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- Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan
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Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan 30 (0), 26-26, 2010
The Japan Society of Vacuum and Surface Science
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680656552448
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- NII Article ID
- 130005038046
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed