Measurements of electrical characteristics of metals in Ar plasma

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Other Title
  • Arプラズマ中における金属の電気特性に関する研究_VI_

Description

これまでArプラズマ中に挿入した微小な金属片に流れる電流を測定し,Alに流れる電流が数十μs程度で減少してしまう現象について報告してきた.前回の報告ではイオンスパッタ処理後10μsの範囲でならプラズマ空間電位における電流がWとAlで一致したことを報告した.ただし計測回路の周波数特性に起因する誤差が測定データに5%程度含まれていたため,この誤差を除去した測定結果について今回報告する.

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1390282680656552448
  • NII Article ID
    130005038046
  • DOI
    10.14886/sssj2008.30.0.26.0
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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