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stability in static expansion systems
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- komatsu eiichi
- AIST
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- akimichi hitosi
- AIST
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- hirata masahiro
- AIST
Bibliographic Information
- Other Title
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- 中真空標準場装置（膨脹法装置）の安定性
Description
中真空標準場装置は現在、『特定標準器』となっており、真空標準供給（0.1ｍPa～150Paでスピニングロータ真空計および隔膜真空計の依頼校正とｊｃｃｓ校正）に使用されている。現在は順調に安定稼動しており、その管理内容と状況を報告します。
Journal
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- Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan
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Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan 30 (0), 252-252, 2010
The Japan Society of Vacuum and Surface Science
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680656583552
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- NII Article ID
- 130005038038
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed