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XPS depth analysis of glass surface using C60 ion sputtering
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- Yamamoto Yuichi
- Asahi glass Co.
Bibliographic Information
- Other Title
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- C60イオンスパッタを用いたガラス表面のXPS深さ方向分析
Description
アルカリまたはアルカリ土類のような可動イオンを含むガラスについては、一般的に用いられているArイオンスパッタを用いてXPSまたはAESなどにより深さ方向分析を行うと、スパッタダメージによる組成変化が生じ、定量的な分析がこれまで不可能であった。今般、C60イオンスパッタを用いることにより、可動イオンの移動のない正確な深さ方向プロファイルが取得可能になった。この詳細内容を報告する。
Journal
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- Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan
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Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan 29 (0), 57-57, 2009
The Japan Society of Vacuum and Surface Science
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680656812544
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- NII Article ID
- 130004674262
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed