XPS depth analysis of glass surface using C60 ion sputtering

Bibliographic Information

Other Title
  • C60イオンスパッタを用いたガラス表面のXPS深さ方向分析

Description

アルカリまたはアルカリ土類のような可動イオンを含むガラスについては、一般的に用いられているArイオンスパッタを用いてXPSまたはAESなどにより深さ方向分析を行うと、スパッタダメージによる組成変化が生じ、定量的な分析がこれまで不可能であった。今般、C60イオンスパッタを用いることにより、可動イオンの移動のない正確な深さ方向プロファイルが取得可能になった。この詳細内容を報告する。

Journal

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390282680656812544
  • NII Article ID
    130004674262
  • DOI
    10.14886/sssj2008.29.0.57.0
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

Report a problem

Back to top