金属ナノ粒子の電界トラップを用いた配線修復における周波数依存性

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• CRID

  1390282680823359104

• NII論文ID

  130007077590

• DOI

  10.1299/jsmekanto.2017.23.1309

• ISSN

  24242691

• Web Site

  https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmekanto/2017.23/0/2017.23_1309/_pdf

• 本文言語コード

  ja

• データソース種別

  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles