310 分子動力学法によるシリコンナノカンチレバーの変形・破壊シミュレーション(OS-3 変形シミュレーション)

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• CRID

  1390282680825773696

• NII論文ID

  110008012044

• DOI

  10.1299/jsmekansai.2009.84._3-10_

• ISSN

  24242756

• Web Site

  https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmekansai/2009.84/0/2009.84__3-10_/_pdf

• 本文言語コード

  ja

• データソース種別

  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles