2307 広視野レーザ干渉計による円筒面のナノレベル形状計測(トライボロジー(4))

詳細情報 詳細情報について

• CRID

  1390282680869519744

• NII論文ID

  110009960026

• DOI

  10.1299/jsmemdt.2014.14.173

• ISSN

  24243051

• Web Site

  https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmemdt/2014.14/0/2014.14_173/_pdf

• 本文言語コード

  ja

• データソース種別

  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles
  • OpenAIRE