ミニマルファブのための1インチサイズHiPIMSプラズマ源(<小特集>プラズマ応用技術の新展開)

DOI Web Site Web Site
  • 行村 建
    (独)産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門:岩手大学ソフトパス工学総合研究センター
  • 小木曽 久人
    (独)産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門集積加工研究グループ
  • 中野 禅
    (独)産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門

書誌事項

タイトル別名
  • 1 Inch-sized HiPIMS Glow Plasma Source for "Minimal Fab Manufacturing System"
  • ミニマルファブのための1インチサイズHiPIMSプラズマ源
  • ミニマルファブ ノ タメ ノ 1 インチサイズ HiPIMS プラズマ ゲン

この論文をさがす

収録刊行物

  • 日本機械学会誌

    日本機械学会誌 117 (1148), 467-469, 2014

    一般社団法人 日本機械学会

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ