2A1-3F-C7 半導体生産における共創的設備配置計画手法

書誌事項

タイトル別名

抄録

既存の最適化手法が適用困難な大規模かつ複雑な半導体生産システムにおいて, 生産要素間の相互作用による共創的手法を利用した設備配置計画手法を提案するとともに, 計算機実験によりその有効性を確認する。

収録刊行物

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2003 (0), 83-, 2003

一般社団法人日本機械学会

詳細情報詳細情報について

Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmermd/2003/0/2003_83_4/_pdf

データソース種別

書誌事項