Photon counting 検出器に向けた微細SOI-APDアレイの開発

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タイトル別名
  • Development of a APD array using SOI wafer for photon counting computed tomography

抄録

<p>硬X線領域においてフォトンカウンティング検出を実現するには位置分解能、エネルギー分解能、検出効率、計数率等の点で優れた検出器を開発する必要がある。本研究は、マイクロメートルオーダーの微細化が可能な共晶体シンチレータの読み出しとして使用可能な、微細高感度ピクセル型光検出器をSilicon on insulator (SOI)ウェハにより開発することを目的とした。本講演ではSOIウェハにより設計試作したAPDについての性能評価と現状の開発の進展を報告する。</p>

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680936527104
  • NII論文ID
    130006245233
  • DOI
    10.11316/jpsgaiyo.71.2.0_2508
  • ISSN
    21890803
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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