29a-L-4 イオンビームスパッター原子の速度分布関数測定によるスパッタリング過程の研究

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  • CRID
    1390282681124814208
  • NII論文ID
    110002018918
  • DOI
    10.11316/jpsgaiyok.1986.4.0_231_2
  • ISSN
    2433118X
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles

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