<b>支燃性ガスとしてCIF<sub>3</sub>を使用した場合の</b><b>各種可燃性ガスの燃焼範囲</b>

DOI Web Site
  • 李 相坤
    横浜国立大学工学部物質工学科（安全工学）
  • 大谷 英雄
    横浜国立大学工学部物質工学科（安全工学）
  • 上原 陽一
    横浜国立大学工学部物質工学科（安全工学）

書誌事項

タイトル別名
  • <b>FIammability　Limit　of　Several　Flammable　Gases　in　the　ClF<sub>3 </sub>Atmosphere </b>
  • 支燃性ガスとしてClF3を使用した場合の各種可燃性ガスの燃焼範囲
  • シネンセイ ガス ト シテ ClF3 オ シヨウシタ バアイ ノ カクシュ カ

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説明

<p><tt>半導体産業のクリーニング工程で使用されている三フッ化塩素（CIF3）と各種可燃性ガス混合気の燃焼限界を実験的に検討した．可燃性ガスとしてはオルトケイ酸テトラエチル（TEOS＝Si（OC2H5）4）， アンモニア（NH3），水素（H2）およびメタン（CH4）を取り上げた．おのおののガスは希釈容器で窒素（N2）により希釈して使用した．TEOSとNH3の場合はCIF3を導入すると同時に自然発火すること がわかった、また，H2とCH4はCIF3と混合し，電気火花で点火した．それぞれの混合気に対して自然発火あるいは点火により燃焼する濃度範囲が明らかになった．また，CIF3と各可燃性ガスの反応機構 </tt><tt>についても検討した， </tt></p>

収録刊行物

  • 安全工学

    安全工学 33 (2), 82-87, 1994-04-15

    安全工学会

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