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- 近藤 重雄
- 工業技術院物質工学工業技術研究所
書誌事項
- タイトル別名
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- 特殊材料ガスの危険性
- トクシュ ザイリョウ ガス ノ キケンセイ
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説明
<p><tt>半導体製造などの先端産業で原材料ガスとして用いられているシラン,ジシランなどの特殊材料ガスは,爆発範囲が広く,自然発火性であったり,分解爆発性であったり,毒性を有していたり危険性のきわめて大きいものが多い.そのため,平成3年の高圧ガス取締法の改正により,消費には厳しい技術規準が課されるPとともに都道府県への届出が必要になった.本稿では,最近明らかにされつつあるシランなどの特異的な発火爆発現象のメカニズムの解説に力点を置きながら,特殊材料ガスー般の危険性につ </tt><tt>いてあらまし述べる. </tt></p>
収録刊行物
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- 安全工学
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安全工学 33 (6), 354-360, 1994
安全工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282681219879680
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- NII論文ID
- 130007288351
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- NII書誌ID
- AN00012812
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- ISSN
- 24240656
- 05704480
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- NDL書誌ID
- 3899206
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDLサーチ
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可