書誌事項
- タイトル別名
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- Coating and Wear Resistance of Ceramic Films from Alkoxide Solutions by Atmosphere Controlled Thermal Plasma CVD
- 受賞記念講演 平成20年度研究進歩賞 雰囲気制御熱プラズマCVD法によるアルコキシド溶液からの新規セラミックスコーティングと耐摩耗性
- ジュショウ キネン コウエン ヘイセイ 20ネンド ケンキュウ シンポショウ フンイキ セイギョ ネツ プラズマ CVDホウ ニ ヨル アルコキシド ヨウエキ カラ ノ シンキ セラミックス コーティング ト タイマモウセイ
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抄録
Monolithic and composite ceramic films of TiN, Ti-Al-N, Ti-B-C-N and PSZ were prepared at relatively higher deposition rate (approximately 100 nm/min) and at lower temperature (< 800°C) by a novel thermal plasma CVD designed to spray Ti-, Al-, B-, or Zr-alkoxide solutions into Ar/H2/N2 thermal plasma. Chemical compositions of composite films were controlled by changing of mixing ratios of two kinds of alkoxide solutions and N2 flow rates. PSZ films were prepared by mild oxidation of Y- and Zr-alkoxide solutions with water introduced into the thermal Ar/N2 plasma without oxidation of under layer TiN. Cutting tests of composite TiBCN films deposited on WC-Co cutting tools exhibited better wear resistance compared with commercial TiN coated cutting tools.
収録刊行物
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- 粉体および粉末冶金
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粉体および粉末冶金 57 (7), 514-519, 2010
一般社団法人 粉体粉末冶金協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282681284295936
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- NII論文ID
- 10026872091
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- NII書誌ID
- AN00222724
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- COI
- 1:CAS:528:DC%2BC3cXpslOhurY%3D
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- ISSN
- 18809014
- 05328799
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- NDL書誌ID
- 10782746
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可