ＬＳＩにおけるアルミニウム配線の諸問題

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タイトル別名
  • Some critical issues of LSI aluminum conductor.
  • LSI ニ オケル アルミニウム ハイセン ノ ショ モンダイ

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記事分類: 電気工学--電子工学--集積回路

収録刊行物

  • 軽金属

    軽金属 41 (9), 614-622, 1991

    一般社団法人 軽金属学会

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