マイクロプラズマによるシリコンナノ粒子合成

  • 野崎 智洋
    東京工業大学大学院理工学研究科グローバルCOE

書誌事項

タイトル別名
  • Microplasma Synthesis of Silicon Nanoparticles
  • マイクロプラズマ ニ ヨル シリコンナノ リュウシ ゴウセイ

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収録刊行物

  • 高温学会誌

    高温学会誌 36 (4), 168-173, 2010

    一般社団法人 スマートプロセス学会 (旧高温学会)

参考文献 (15)*注記

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