Semiconductor Surfaces Studied by Surface-sensitive XAFS and DAFS.

DOI Web Site Web Site 32 References

Bibliographic Information

Other Title
  • Ｓｕｒｆａｃｅ‐ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ　ＸＡＦＳ／ＤＡＦＳによる半導体表面研究
  • Surface-sensitive XAFS DAFS ニヨル ハンドウタイ

Search this article

Description

Surface-sensitive XAFSおよびDAFSを用いた半導体表面研究の現状と将来の展望について報告する。XAFSによる硬X線領域の実用的な半導体表面の局所構造研究は挿入光源の利用による高輝度ビームと表面の選択励起により可能になった。Si(001)-(2×1)上のGe原子層への適用を例としSurface-sensitive XAFSの原理を説明し得られた結果を報告する。Ge原子をプローブとすることによってダイマー結合異常や表面置換(界面の異種原子がおきかわること)など表面の歪みによって生じる特徴的な構造変化をみいだした。X線回折強度にあらわれる微細構造(DAFS)はサイト選択性という特徴をもつ新しい構造解析法である。その原理を簡単に説明し,半導体表面・界面を中心に具体的な応用例をあげる。第3世代蓄積リングとチューナブルX線アンジュレーターの利用による将来展望についてもふれる。

Journal

  • Hyomen Kagaku

    Hyomen Kagaku 18 (1), 2-8, 1997

    The Surface Science Society of Japan

References(32)*help

See more

Details 詳細情報について

Report a problem

Back to top