書誌事項
- タイトル別名
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- Investigation of Mass Transfer Phenomena of Gas Absorption in the Air Cleaner for Semi Conductor
- ハンドウタイヨウ クウキ セイジョウカ ニ モチイル ガス キュウシュウ ソウチ ナイ ブッシツ イドウ ゲンショウ ノ カイメイ
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抄録
電子部品用クリーンルームの空気を浄化するために使われているエアワッシャ装置の一部、すなわち三角波形流路多層構造のエリミネータ部における流動および物質移動特性の解明を目的として、実験およびシミュレーション解析を行った。実験ではナフタレン昇華法を用い、波形流路の波形高さ2aと流路幅Hで表現される無次元形状パラメータ2a/Hを変化させてSh数の測定を行った。シミュレーションではNH_3およびSO_2弱電解質ガスを対象としてEddy-CellモデルおよびFickの法則によりガス吸収数値計算を行った。具体的には、平板型流路においてEddy-Cellモデル中の定数αを数値的に求める式を算出し、波形流路への適用を試みた結果、波形流路長さ方向のガス吸収特性については、入口部においてガス吸収率が高いことが実験、解析ともに示された。
収録刊行物
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- 空気調和・衛生工学会 論文集
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空気調和・衛生工学会 論文集 28 (91), 21-30, 2003
公益社団法人 空気調和・衛生工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282681522068736
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- NII論文ID
- 110007996461
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- NII書誌ID
- AN00065706
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- ISSN
- 24240486
- 0385275X
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- NDL書誌ID
- 6745221
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可