半導体用空気清浄化に用いるガス吸収装置内物質移動現象の解明

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タイトル別名
  • Investigation of Mass Transfer Phenomena of Gas Absorption in the Air Cleaner for Semi Conductor
  • ハンドウタイヨウ クウキ セイジョウカ ニ モチイル ガス キュウシュウ ソウチ ナイ ブッシツ イドウ ゲンショウ ノ カイメイ

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抄録

電子部品用クリーンルームの空気を浄化するために使われているエアワッシャ装置の一部、すなわち三角波形流路多層構造のエリミネータ部における流動および物質移動特性の解明を目的として、実験およびシミュレーション解析を行った。実験ではナフタレン昇華法を用い、波形流路の波形高さ2aと流路幅Hで表現される無次元形状パラメータ2a/Hを変化させてSh数の測定を行った。シミュレーションではNH_3およびSO_2弱電解質ガスを対象としてEddy-CellモデルおよびFickの法則によりガス吸収数値計算を行った。具体的には、平板型流路においてEddy-Cellモデル中の定数αを数値的に求める式を算出し、波形流路への適用を試みた結果、波形流路長さ方向のガス吸収特性については、入口部においてガス吸収率が高いことが実験、解析ともに示された。

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