ナノマシン

書誌事項

タイトル別名
  • Basic Research Laboratory Nano Machine

この論文をさがす

説明

ナノメータ単位の位置決めが可能なノンフリクションサーボシステムを内蔵した超精密加工機をマイクロ部品の複合超精密加工に適用し, 実例として単結晶ダイヤモンド工具を使用したφ1mmの能面の三次元フライス加工を紹介する。

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ