FIB-SEMシリアルセクショニングによる材料組織の三次元観察

DOI Web Site
  • 原 徹
    独立行政法人　物質・材料研究機構

書誌事項

タイトル別名
  • 3D Microstructure Observation of Materials by Means of FIB-SEM Serial Sectioning
  • FIB-SEM シリアルセクショニング ニ ヨル ザイリョウ ソシキ ノ サンジゲン カンサツ

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説明

<p>FIB-SEMでのシリアルセクショニングによる組織の三次元的観察について，主にハードウェアの観点から，手法とクオリティを決める因子について概説する．この観察に適したFIBとSEMの配置を持つ装置の紹介と，それにより得られたデータをもとに，より高い精度でより多くの情報を持つ観察に向けた基礎的な方針を考察する．</p>

収録刊行物

  • 顕微鏡

    顕微鏡 49 (1), 53-58, 2014-04-30

    公益社団法人 日本顕微鏡学会

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