書誌事項
- タイトル別名
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- Basic Technologies of EPMA and Latest FE-EPMA
- EPMA ノ キソ ギジュツ ト サイシン ノ FE-EPMA ノ ショウカイ
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説明
<p>近年，SEM-EDSはその技術革新により大変身近で便利な表面分析装置となったが，検出下限値が低く定量精度に優れるEPMA（ここではSEM-EDSと対比される，WDSを搭載した電子プローブマイクロアナライザーを指す）は引き続き様々な分野で問題解決に不可欠な表面分析装置として活用されていくものと考えられる．特に近年FE電子銃を搭載したEPMA（FE-EPMA）が登場したことにより，元素マッピング像の空間分解能が格段に向上し，その応用範囲はむしろ広がりつつある．本講座ではEPMAに関する理解をより深めていただくことを目的として，SEM-EDSとの違いについて簡単に触れた後，EPMAの特徴的な性能や機能について述べ，その後に最新のFE-EPMAによるアプリケーション例を紹介する．</p>
収録刊行物
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- 顕微鏡
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顕微鏡 50 (1), 61-66, 2015-04-30
公益社団法人 日本顕微鏡学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282752322463744
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- NII論文ID
- 130007701750
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- NII書誌ID
- AA11917781
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- ISSN
- 24342386
- 13490958
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- NDL書誌ID
- 026555192
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDLサーチ
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
