Modification of frequency properties of surface acoustic devices by the additional formation of piezoelectric thin film
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- Rikimaru Shinya
- Kyushu Institute of Technology
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- Kitamura Kanato
- Kyushu Institute of Technology
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- Murakami Sunao
- Kyushu Institute of Technology
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- Ito Takahiro
- Kyushu Institute of Technology
Bibliographic Information
- Other Title
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- 圧電薄膜の追加形成による弾性表面波デバイスの周波数特性の変化
Abstract
<p>弾性表面波(SAW)デバイスは圧電マイクロデバイスの一種である。そのデバイス特性を変えたい場合、通常はSAWを発生させるくし歯電極のパターンなどの設計変更が行われる。一方、その特性は、デバイス基板材料により異なるSAWの伝播速度にも影響される。そこで本研究では、圧電材である窒化アルミニウム薄膜の、デバイス基板上への追加形成のみにより、SAWデバイスの周波数特性を変化させることを試みた。</p>
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2019S (0), 488-489, 2019-03-01
The Japan Society for Precision Engineering
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282752322594304
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- NII Article ID
- 130007702581
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed