ラップ定盤の格子溝とスラリー挙動の関係

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タイトル別名
  • Relation between grating grooved lapping plate and slurry behavior

抄録

<p>ラッピング加工ではスラリーが定盤上で広範囲に広がることにより，ウェーハの寸法精度や研磨能率が向上する．そのため，定盤には各種の溝加工が施されている．そこで，本研究では上定盤の代わりに格子溝を設けたアクリル板を用いることで定盤間のスラリー挙動を可視化した．そして，格子溝のピッチや角度を変化させて観察を行うことで，定盤表面の格子溝がラッピング加工のスラリー挙動に与える影響を検証した結果について述べる．</p>

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282752323064576
  • NII論文ID
    130007702334
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2019s.0_113
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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