集束イオンビームによる三次元ナノテクノロジーの展開

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  • 松井 真二
    姫路工業大学高度産業科学技術研究所 JST CREST 独立法人　科学技術振興機構

書誌事項

タイトル別名
  • Development of three-dimensional nanotechnology using focused ion beam
  • シュウソク イオンビーム ニ ヨル 3ジゲン ナノテクノロジー ノ テンカイ

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抄録

<p>集束イオンビーム励起表面反応を用いた立体ナノ構造形成技術は，①集束イオンビームのビーム径が5nmまで収束可能であるので，三次元CADデータを用いて，数十nmレベルの立体ナノ構造形成が可能である．②ソースガスを変えることにより，金属，半導体，絶縁体など多種の材料で三次元ナノ構造形成が可能である．集束イオンビームを用いた三次元ナノテクノロジーは，エレクトロニクス，メカニクス，オプテイクスからバイオテクノロジーまで広範囲にわたるナノテクノロジーの中核技術として期待されている．これらの特徴を有する立体ナノ構造造形技術を利用することにより，これまで実現できなかった空中配線技術，静電ナノアクチュエーター，バイオインジェクターおよび静電ナノマニピュレーターなどの立体ナノツールを非常に簡便なプロセスで作製することに成功した．</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 73 (4), 445-454, 2004-04-10

    公益社団法人 応用物理学会

被引用文献 (3)*注記

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