ソリューション法による電子デバイス形成の課題とそのソリューション

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  • 下田 達也
    北陸先端科学技術大学院大学 マテリアルサイエンス研究科

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タイトル別名
  • Direct formation of electronic devices by the solution method: its problems and solutions
  • ソリューションホウ ニ ヨル デンシ デバイス ケイセイ ノ カダイ ト ソノ ソリューション

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抄録

<p>最初に，プリンティング法を含めた溶液法プロセスにおいて，電子デバイスを作製するうえで直面する固有の課題を工程順に取り上げ，それがどのような理由で生ずるのか，一般的にどのように対処すればよいのかを述べる．次に，具体例として無機系材料である液体シリコンと金属酸化物を用いた溶液プロセスを取り上げ，課題を解決したいくつかの例を述べる．プリンティング法の課題に対しては，従来法に比べてはるかに微細化が可能な新しいプリンティング法であるナノレオロジープリンティングを紹介する．</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 83 (7), 553-559, 2014-07-10

    公益社団法人 応用物理学会

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