低損傷分析条件下で高分解能REELSスペクトルを取得するための分析条件の評価

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書誌事項

タイトル別名
  • Evaluation of practical analysis conditions to obtain REELS spectra with high energy resolution under little sample damage

説明

<p>AESを用いることで反射電子EELS測定が可能であることは以前から知られてきた。しかしTEMによるEELS測定ほど活発な議論がなされていないのが現状である。今回はAESを用いて得られたEELSスペクトルの，電子銃のエネルギー幅から求められる分解能，実試料測定における分光器の条件を検討した。また透過EELSのスペクトルや通常のオージェ分析と比較し、表面ダメージやそれに伴うスペクトルの変化を考察した。</p>

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282752351820288
  • NII論文ID
    130007737678
  • DOI
    10.14886/jvss.2019.0_2hp11
  • ISSN
    24348589
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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