スラリーを援用したスライシング方式の基礎的な加工特性

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書誌事項

タイトル別名
  • Fundamental Slicing Characteristics of Slicing Method Using Slurry

説明

<p>マルチワイヤソーによるスライシング方式は,遊離砥粒方式と固定砥粒方式とに大別することができる.本研究では,ダイヤモンド電着ワイヤ工具(固定砥粒)とスラリー(遊離砥粒)を併用し,高精度・高効率スライシングを実現させることを主な目的としている.本報では,硼珪酸ガラス,シリコン,サファイアを被削材とし,基礎的なスライシング特性について検討を行った結果を報告する.</p>

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282763040761600
  • NII論文ID
    130007480639
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2018s.0_933
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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