スラリーを援用したスライシング方式の基礎的な加工特性

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書誌事項

タイトル別名
  • Fundamental Slicing Characteristics of Slicing Method Using Slurry

説明

<p>マルチワイヤソーによるスライシング方式は，遊離砥粒方式と固定砥粒方式とに大別することができる．本研究では，ダイヤモンド電着ワイヤ工具（固定砥粒）とスラリー（遊離砥粒）を併用し，高精度・高効率スライシングを実現させることを主な目的としている．本報では，硼珪酸ガラス，シリコン，サファイアを被削材とし，基礎的なスライシング特性について検討を行った結果を報告する.</p>

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282763040761600
  • NII論文ID
    130007480639
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2018s.0_933
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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