スラリーを援用したスライシング方式の基礎的な加工特性
書誌事項
- タイトル別名
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- Fundamental Slicing Characteristics of Slicing Method Using Slurry
説明
<p>マルチワイヤソーによるスライシング方式は,遊離砥粒方式と固定砥粒方式とに大別することができる.本研究では,ダイヤモンド電着ワイヤ工具(固定砥粒)とスラリー(遊離砥粒)を併用し,高精度・高効率スライシングを実現させることを主な目的としている.本報では,硼珪酸ガラス,シリコン,サファイアを被削材とし,基礎的なスライシング特性について検討を行った結果を報告する.</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2018S (0), 933-934, 2018-03-01
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282763040761600
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- NII論文ID
- 130007480639
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可