繰り返しUV-NILによる離型剤フリー高硬度レプリカモールドの転写耐久特性の評価

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抄録

<p>UV-NIL（ナノインプリントリソグラフィ）は低コストかつ高スループットで微細なパターンを転写できる技術である．しかし，樹脂の付着や欠損によってマスターモールド（金型）が劣化する問題がある．そこでマスターモールドの劣化を抑えるため，UV-NILによって高硬度レプリカモールドを作製した．このレプリカモールドを用いてUV-NILを繰り返し行い，転写耐久特性を評価した．その結果7000回以上転写可能なレプリカモールドの作製に成功した．</p>

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282763042418560
  • NII論文ID
    130007480532
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2018s.0_667
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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