Study on high efficiency of GaN polishing process; 2nd report

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Other Title
  • GaN研磨加工高能率化の研究（第2報）
  • 小型研磨機を用いた反射型光路による紫外線照射とpH変化の効果
  • Effect of ultraviolet irradiation and　various pH by reflective optical path using a small polishing machine

Abstract

<p>石英定盤を用いて反射光路を形成し直接研磨部位に紫外線が照射される小型研磨機によってGaNの研磨速度の改善の検討を行った。本報ではさらに様々なpHでの影響の調べた。</p>

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Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390282763101356800
  • NII Article ID
    130007602817
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2018a.0_305
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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