スリットノズルを用いた加湿と乾燥によるインクジェット塗布膜の形状再調整プロセス

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Abstract

<p>大面積基板上のインクジェット塗布膜の形状を均一化するための新しいシステムを開発した。まず、塗布したインクを真空乾燥し、幅の揃ったリング形状の膜を形成する。次に、スリットノズルからライン状に吹き出る加湿空気によって幅を維持しながら膜を溶解し、他方のスリットノズルから吹き出るN2によって溶解した膜を再乾燥することで断面形状を調整する。その結果、基板面内で同一の幅を有する均一な断面形状の膜が得られた。</p>

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Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390282763102027136
  • NII Article ID
    130007602227
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2018a.0_702
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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