非直交光学式三次元測定の動向と性能評価法の標準化

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  • 阿部 誠
    国立研究開発法人産業技術総合研究所

書誌事項

タイトル別名
  • Non-Cartesian Optical Coordinate Metrology and the Standardization of Performance Evaluation
  • ヒチョッコウ コウガクシキ サンジゲン ソクテイ ノ ドウコウ ト セイノウ ヒョウカホウ ノ ヒョウジュンカ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 85 (5), 388-391, 2019-05-05

    公益社団法人 精密工学会

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