安定加工を目指す超精密加工機の開発

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  • 洪 榮杓
    ファナック(株)ロボマシン事業本部ロボナノ研究部長兼ロボナノセールス部

書誌事項

タイトル別名
  • Development of Ultra-Precision Machine Realizing Stable Machining
  • アンテイ カコウ オ メザス チョウセイミツ カコウキ ノ カイハツ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 85 (4), 310-313, 2019-04-05

    公益社団法人 精密工学会

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