マグネシウムシリサイドを用いた環境調和型赤外フォトダイオード

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タイトル別名
  • An environmentally friendly Mg<sub>2</sub>Si pn-junction photodiode
  • マグネシウムシリサイド オ モチイタ カンキョウ チョウワガタ セキガイ フォトダイオード

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説明

<p>マグネシウムシリサイド（Mg2Si）は，室温で約0.61eVの禁制帯幅をもつ間接遷移型半導体であるため，近年利用が進む短波長赤外域（SWIR，波長λ=0.9～2.5μm）の赤外センサへの応用が期待できる．本稿では，Mg2Si赤外センサの開発に向けたMg2Si単結晶成長，高純度基板の開発およびpn接合フォトダイオードの開発について紹介する．</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 88 (12), 797-801, 2019-12-10

    公益社団法人 応用物理学会

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