ラマン分光法を用いたSiCパッケージの応力の定量評価

書誌事項

タイトル別名
  • Quantitative Stress Analysis for SiC Package by Raman Spectroscopy
  • ラマン ブンコウホウ オ モチイタ SiC パッケージ ノ オウリョク ノ テイリョウ ヒョウカ
公開日
2015
DOI
  • 10.11486/mes.25.0_25
公開者
一般社団法人 エレクトロニクス実装学会

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