単原子電子源を搭載した低加速走査型電子顕微鏡

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タイトル別名
  • Low Energy Scanning Electron Microscope Mounted with a Single-atom Electron Source
  • 最近の研究と技術 単原子電子源を搭載した低加速走査型電子顕微鏡
  • サイキン ノ ケンキュウ ト ギジュツ タンゲンシ デンシ ゲン オ トウサイ シタ テイカソク ソウサガタ デンシ ケンビキョウ

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抄録

<p>単原子電子源を搭載した低速走査顕微鏡の開発の現状について報告する．新電子銃では放出位置だけでなく，放出方向も正確に調整可能とした．従来の電界放出電子銃に比較して，3桁少ない全放出電流（数nA）で，通常のSEM観察ができることを確認した．現存空間分解能の向上が進行中である．</p>

収録刊行物

  • 顕微鏡

    顕微鏡 45 (2), 133-136, 2010-06-30

    公益社団法人 日本顕微鏡学会

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