Development and Application of SEM-EDS Analyzer Utilizing Superconducting X-ray Detector
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- FUJII Go
- 国立研究開発法人産業技術総合研究所
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- SHIKI Shigetomo
- 国立研究開発法人産業技術総合研究所
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- UKIBE Masahiro
- 国立研究開発法人産業技術総合研究所
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- OHKUBO Masataka
- 国立研究開発法人産業技術総合研究所
Bibliographic Information
- Other Title
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- 超伝導X線検出器を搭載した走査電子顕微鏡の開発と構造材料分析への応用
- チョウデンドウ Xセン ケンシュツキ オ トウサイ シタ ソウサ デンシ ケンビキョウ ノ カイハツ ト コウゾウ ザイリョウ ブンセキ エ ノ オウヨウ
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Journal
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- Journal of the Japan Society for Precision Engineering
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Journal of the Japan Society for Precision Engineering 86 (3), 197-200, 2020-03-05
The Japan Society for Precision Engineering
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390283659856167552
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- NII Article ID
- 130007805858
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- NII Book ID
- AN1003250X
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- ISSN
- 1882675X
- 09120289
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- NDL BIB ID
- 030303243
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
- KAKEN
