作用表面上におけるナノスケール現象の化学的実時間観測に関する研究
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- ド バン タン
- 九工大 大学院情報工学府 学際情報工学専攻
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- カチョーンルンルアン パナート
- 九工大 大学院情報工学研究院 機械情報工学研究系
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- 鈴木 恵友
- 九工大 大学院情報工学研究院 機械情報工学研究系
書誌事項
- タイトル別名
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- Study on Real-time Chemical Observation during On-Surface Nanoscale Process
- 1st report: Development of Evanescent field Raman Spectroscopy System
- 第1報:ラマン分光光度計の開発
抄録
<p>This paper reports development of an optical apparatus for Real-time observation during chemical reactions in Nano-scale process on surface such as CMP (Chemical-Mechanical polishing) and catalysis by applying in evanescent field. Beside using evanescent field to observe Nano-particles in physical aspects, the developed Raman spectroscopy apparatus aims to observe chemical aspects during reactions on processing surface. Changes in Raman scattering spectrum is expected to understand chemical reactions on the processing surface. In this report, the 532 nm wavelength laser source will be used to generate evanescent field. A rotation stage of diffraction grating and a translation stage will used to optimize the Raman spectrum data.</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2020S (0), 622-623, 2020-03-01
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390285697601788160
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- NII論文ID
- 130007896772
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- 本文言語コード
- en
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可