書誌事項
- タイトル別名
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- Development of a Millimeter-Stroke Electrothermal Kirigami MEMS Actuator with Low Driving Power-Static and Dynamic Thermomechanical Characteristic of Film Bimorph-
- ミリチョウ ストローク ・ テイデンリョク ネツ クドウ キリガミ MEMS アクチュエータ ノ カイハツ : ハクマク バイモルフ ノ ネツ ・ キカイ オウトウ トクセイ
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説明
<p>本論文では，ミリ長ストロークを低電力で達成する熱駆動切り紙MEMSアクチュエータを提案する．紙を切って折るだけで立体構造を造形する切り紙のコンセプトは，様々な工学デバイスに応用されている．著者らは，ジュール加熱によって面外方向ステップ状に変形する切り紙式熱バイモルフ薄膜アクチュエータを設計した．薄膜直径2mmのシングルステップ型および直径4mmのマルチステップ型の2種類のアクチュエータをMEMSプロセスを用いて作製した．シングル型は供給電力131mWでストローク0.2mm，マルチ型はわずか128mWでミリ長ストローク1.1mmを達成した．本稿では，提案した切り紙MEMSアクチュエータの熱・機械特性を明らかにした．</p>
収録刊行物
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- 熱物性
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熱物性 34 (4), 109-116, 2020
日本熱物性学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390287297544574976
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- NII論文ID
- 130007995181
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- NII書誌ID
- AN10064743
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- ISSN
- 1881414X
- 0913946X
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- NDL書誌ID
- 030791001
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- 本文言語コード
- ja
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- 資料種別
- journal article
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- データソース種別
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- JaLC
- NDLサーチ
- Crossref
- CiNii Articles
- KAKEN
- OpenAIRE
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
