X線異常散乱分光を用いた半導体材料評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Evaluation of Semiconductors using Anomalous X-ray Scattering
抄録
窒化物半導体 LED(Light Emitting Diode)の特性向上において、発光層である InGaN の局所構造を把握することは非常に重要であり、これまでも XAFS(X-ray absorption fine structure)法による解析が進められてきた。一方、InGaN/GaN 超格子中の Ga 原子周辺の局所構造解析は GaN バッファー層の影響が大きく、超格子中に存在するGa原子のみの局所構造を解析することは困難である。そこで、結晶学的サイト選択性を有する DAFS(Diffraction anomalous fine structure)法を利用し、窒化物半導体の測定を試みた。今回は予備検討として、AlN バッファー層上に成長した AlGaN 層を測定し、蛍光 XAFS 法で解析した結果と比較することにより本手法の可能性を検討したので報告する。
収録刊行物
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- SPring-8/SACLA利用研究成果集
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SPring-8/SACLA利用研究成果集 9 (5), 356-361, 2021-08-26
公益財団法人 高輝度光科学研究センター
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390289166417372544
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- NII論文ID
- 130008078696
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- ISSN
- 21876886
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可