スパッタ粒子の運動エネルギーを利用した相分離スパッタ技術の開発

書誌事項

タイトル別名
  • Development of phase separation sputtering technology using the kinetic energy of sputtered particles

説明

<p>新たな防曇材料として南九州特有の火山噴出物であるシラスに着目した。これまでガラスの相分離現象を利用した薄膜構造の多孔質化により防曇性の長期間維持を試みてきた。しかし、一般的に熱処理が必要な相分離現象では、需要が高まる耐熱性に乏しい基板に対応できない。本研究はシラス薄膜の低温での相分離スパッタ技術開発を目的とし、熱エネルギーに代わり、薄膜構造に影響を与えるスパッタ粒子の運動エネルギーの利用を試みた。</p>

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390290493075973504
  • NII論文ID
    130008134135
  • DOI
    10.14886/jvss.2021.0_2p17s
  • ISSN
    24348589
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

問題の指摘

ページトップへ