スパッタ粒子の運動エネルギーを利用した相分離スパッタ技術の開発

田中 愛夢, 野口 大輔, 寺村 享祐, 矢野 智泰, 栗原 路子, 近藤 千恵子

doi:10.14886/jvss.2021.0_2p17s

スパッタ粒子の運動エネルギーを利用した相分離スパッタ技術の開発

DOI

田中愛夢

都城工業高等専門学校物質工学科
野口大輔

都城工業高等専門学校物質工学科
寺村享祐

三井金属鉱業株式会社機能材料事業本部
矢野智泰

三井金属鉱業株式会社機能材料事業本部
栗原路子

高千穂シラス株式会社R&Dセンター
近藤千恵子

高千穂シラス株式会社R&Dセンター

書誌事項

タイトル別名

Development of phase separation sputtering technology using the kinetic energy of sputtered particles

説明

<p>新たな防曇材料として南九州特有の火山噴出物であるシラスに着目した。これまでガラスの相分離現象を利用した薄膜構造の多孔質化により防曇性の長期間維持を試みてきた。しかし、一般的に熱処理が必要な相分離現象では、需要が高まる耐熱性に乏しい基板に対応できない。本研究はシラス薄膜の低温での相分離スパッタ技術開発を目的とし、熱エネルギーに代わり、薄膜構造に影響を与えるスパッタ粒子の運動エネルギーの利用を試みた。</p>