スパッタ粒子の運動エネルギーを利用した相分離スパッタ技術の開発
書誌事項
- タイトル別名
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- Development of phase separation sputtering technology using the kinetic energy of sputtered particles
説明
<p>新たな防曇材料として南九州特有の火山噴出物であるシラスに着目した。これまでガラスの相分離現象を利用した薄膜構造の多孔質化により防曇性の長期間維持を試みてきた。しかし、一般的に熱処理が必要な相分離現象では、需要が高まる耐熱性に乏しい基板に対応できない。本研究はシラス薄膜の低温での相分離スパッタ技術開発を目的とし、熱エネルギーに代わり、薄膜構造に影響を与えるスパッタ粒子の運動エネルギーの利用を試みた。</p>
収録刊行物
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- 日本表面真空学会学術講演会要旨集
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日本表面真空学会学術講演会要旨集 2021 (0), 2P17S-, 2021
公益社団法人 日本表面真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390290493075973504
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- NII論文ID
- 130008134135
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- ISSN
- 24348589
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可