レーザ反射光による表面形状の測定

DOI 機関リポジトリ Web Site

書誌事項

タイトル別名
  • Measurement of Surface Profile by the Reflection of He-Ne Laser
  • レーザ ハンシャコウ ニ ヨル ヒョウメン ケイジョウ ノ ソクテイ

この論文をさがす

抄録

type:Article

We used a He-Ne Laser having more excellent points for precision measurements than an old light source and projected it on metal surfaces. Then we could easily measure the three-dimensional size or the distribution of the inc1ination angle of very small hills existing in the surface from the distribution condition of reflective light.

光の反射を利用した物体表面の測定は従来から光沢とか表面あらさに関連して多くの方法が試みられている。光沢とは物理的な意味で光の反射に関係した物体表面の性質として述べられ，その量的な表示は主として反射光の分布を測定したものである。これに対して表面あらさは物体表面の凹凸と定性的な定義づけがなされ，定量的な値がその二次元的な断面曲線からいろいろな方法で表示されている。その中で，光の反射を利用した表面あらさ測定の代表的なものにはNF粗度計，heen限界角を応用したもの，接触率を利用したもの，S表面のでこぼこの傾斜角を測定したものなどがある。ところがそれらのほとんどは光源として白色光を使用し，平行光線を得るためにはコリメータレンズを使って，それぞれの精度を出している。筆者らもすでに光源として白熱電球を使用し，金属面からの反射光強度を三次元的に測定し，その傾斜角の分布状態を求めている。今回は白色光の場合，光源の大きさが有限であるためどうしても指向性のよい平行光線が得られにくく，その反射光も不鮮明になりがちであるという点を考慮して，出力の小さいレーザ光を光源に用いる。実験では物体（金属）表面にレーザ光を投射し，その反射像から表面の凹凸の傾き角の分布状態を三次元的に読み取り，また別の方法から得られた値とも比較する。試料には主として測定の精度を測りやすくするために規則正しい面をもった形削用表面あらさ標準試験片を使用する。

identifier:富山大学工学部紀要，23(1/2)

収録刊行物

キーワード

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ