AlN膜の結晶性と弾性表面波デバイスの特性に関する研究
抄録
<p>弾性表面波（SAW）デバイスは、基材の表面近傍を伝播する機械振動を利用した圧電マイクロデバイスであり、センサへの応用が期待されている。高感度なセンサとして利用するためには、より高い信号強度での動作が必要であり、その圧電材の特性がデバイス性能に大きく影響する。AlN薄膜では、結晶性を改善することにより圧電性を向上できる。本研究では、AlN薄膜の結晶性に応じたSAWデバイスの特性変化について調査した。</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2021A (0), 360-361, 2021-09-08
公益社団法人 精密工学会