選択成長法を用いたGaN FinFETの作製:リーク電流抑制の改良
書誌事項
- タイトル別名
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- Fabrication of GaN FinFETs using selective area growth: Suppression of leakage
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.2 (0), 1890-1890, 2020-08-26
公益社団法人 応用物理学会