金属積層Siプラズモン導波路ヒータの作製と評価

DOI

宮内智弘

農工大工
山田浩史

農工大工
清水大雅

農工大工
並木美太郎

農工大工

書誌事項

タイトル別名

Fabrication and Evaluation of Si Plasmonic Waveguide heater with Metal

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.2 (0), 601-601, 2020-08-26

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390291932684952320
DOI

10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_601
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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